ayx爱游戏官网入口:小车开上“天花板”1mm精度+53msAMHS国产化代替再加快

　　区的新施诺半导体设备有限公司的总部工厂里，天花板上的天车沿着犬牙交错的轨迹来回快速移动，承担着吊起、传送、存储、再传送以及设备检修时的物料转移等作业。作为主动物料转移体系（AMHS）中最中心的转移设备之一，天车地点的整个AMHS体系涵盖了转移、通讯、存储、净化等各类硬件配备和相应软件，其运用场景规划贯穿半导体出产的前道、中道和后道工序，现在已成为大都12英寸半导体晶圆厂的必备装备。

　　近年来，跟着半导体晶圆厂由8英寸出产线英寸出产线晋级，工艺流程复杂度继续不断的添加，传统的人工转移方法在功率、失误率、洁净度等方面已难以满意出产需求。此外，人工转移引起的轰动也会影响晶圆良品率。因而，不少工厂期望能有一套速度更快、转移量更大、安稳性更高又兼具所占空间更小、轰动更小的转移体系。

　　“新施诺是国内仅有成功在客户工厂完成超越200台车运用事例的国产天车体系供货商，实践运用轨迹已达到20公里以上，一起已在模仿测验环境中具有单厂超1000台天车一起调度的规划。”在姑苏新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉看来，新施诺AMHS的迭代晋级符合了半导体设备国产自主研制建造方针，现在进化到了第五代。

　　谈及新施诺第五代天车体系的技能亮点和优势时，王宏玉表明，为削减转移轰动引发的晶圆破损，转移重复精度控制在1mm以内，转移进程载具振荡峰值不超越0.5G，且要害取放进程中施行多重防护；天车作业速度进步至每秒5.3米，抓取时刻仅需数秒，就算是长距离跨区域传送，一般整周期也控制在3分钟内……经过这一些技能提高，新施诺的AMHS体系可以在安全、高效、安稳的前提下，下降运营本钱，加快国产化代替的进程。

　　比如在半导体工厂内的天车体系在天花板上有序运转，是硅片和晶圆制作流程的重要组成部分，贯穿整个出产工序。一旦AMHS体系故障，将影响物流传送，严峻的话，有几率会使整厂大面积出产停工待料。因而软件扮演着AMHS体系“大脑”的人物，避免了天车在运送进程中的拥堵现象，保证了物料运送的最优途径挑选。

　　“大规划人机一体化智能体系的程度渐渐的升高，需求AMHS体系更高效、更智能化、更节省。除了半导体晶圆厂，面板工厂及新能源电池厂也在逐渐运用全套AMHS体系。”王宏玉表明，“后续公司还将不断经过国内外协同研制及供应链整合，晋级AMHS体系解决方案。”